용존 가스 제어

전기도금 용액은 증착된 금속층의 결함과 불순물을 방지하기 위해 엄격한 파티클 관리와 용존 가스 제어가 필요합니다. 3M은 전기도금 공정의 요구를 충족하는 파티클 및 용존 가스 제어 솔루션을 모두 제공합니다.

3M™ Liqui-Cel™ 접촉막 모듈은 다양한 가스 전달 응용 분야에 사용되어 수용액으로부터 용존 가스를 제거합니다. 한 가지 사용 예로 암모니아 함량이 높은 공급수로부터 암모니아 가스가 제거되고 반응성 산성 용액에 직접 흡수됩니다.

단일 장치에서 이러한 암모니아의 제거 및 회수가 동시에 수행될 수 있습니다. 이 과정을 막간 흡수법(Transmembrane Chemisorption, TMCS)이라고 부릅니다. 3M Liqui-Cel 접촉막 모듈은 다양한 가스 전달 응용 분야에 사용되어 수용액으로부터 용존 가스를 제거합니다. 막간 흡수법(TMCS) 공정에서는 암모니아 가스가 암모니아 농도가 높은 폐수 흐름으로부터 제거되고, 중공사 멤브레인 벽을 가로질러 확산되며, 반응성 산성 용액에 직접 흡수됩니다. 이러한 과정이 단일 장치에서 암모니아의 제거 및 회수를 동시에 가능하게 합니다.

3M™ Liqui-Cel™ 접촉막 모듈의 가장 널리 알려진 응용 분야는 초순수에서 매우 낮은 수준까지 산소와 같은 용존 가스를 효율적으로 제거하는 것입니다. 3M™ Liqui-Cel™ 접촉막 모듈의 미세 다공성 멤브레인은 순수 가스와 맞춤형 가스 혼합물을 효율적으로 다시 UPW에 추가합니다. "기능수"라고 불리기도 하는, CO₂, NH₃, N₂ 및 H₂와 같은 소량의 그러나 정밀한 양의 가스를 초순수에 첨가하여 전도도 수준을 조절하거나 다양한 제조 단계에서 UPW의 세척 효율을 향상시킬 수 있습니다.

3M™ Liqui-Cel™ 접촉막 모듈을 사용하여 기포 형성을 방지하고, 가스 손실을 거의 또는 전혀 발생시키지 않으면서 자동으로 정밀한 가스 추가 제어가 가능합니다.